Системите за движение на въздушни лагери постигат левитация без триене чрез микронен въздушен филм. Точността на позициониране и плавното движение на цялата платформа се определят изцяло от топографията на повърхността и дългосрочната стабилност на референтната гранитна повърхност. Много производители на машини пренебрегват факта, че междината на въздушния филм е изключително малка. Малки вълни или деформация на остатъчното напрежение върху плота на масата ще нарушат полето на въздушното налягане, причинявайки отклонение на позицията и лоша повторяемост на позиционирането по време на високоскоростно движение на плъзгачи с въздушни лагери. Обикновените гранитни платформи с просто съответствие на плоскостта не са достатъчни, за да съответстват на модулите с въздушни лагери. Прецизната работна маса от гранит UNPARALLELED® за въздушни лагери е специално разработена за направляващи с въздушни лагери и системи за плъзгане с въздушни лагери. Пълният работен процес, включително избор на материал, стареене под напрежение, шлайфане и проверка на цялата площ, е персонализиран за работни условия на въздушна левитация без триене.
Използва черен гранит UNPARALLELED® с плътност приблизително 3100 kg/m³. Отличава се с ниско термично разширение, така че промяната на размерите е минимална при леки колебания на околната температура. Неговата висока характеристика на затихване бързо абсорбира микровибрациите от старт-стоп оборудването и предаване на пода и намалява смущенията в стабилността на въздушния филм. Суровият камък претърпява масово стареене преди механична обработка, за да се освободи предварително вътрешното напрежение. Дори ако контра мивки, отвори за локализиране на щифтове и жлебове за магнитни релси са предварително обработени върху плота, напрежението, предизвикано от машинната обработка, ще бъде постепенно освободено чрез поетапно стареене. Топографията на повърхността няма да се деформира бавно при продължителна непрекъсната работа, поддържайки еднакъв клирънс на въздушния филм във времето.
Изключително прецизното шлайфане на плота е завършено в антивибрационен цех с постоянна температура и влажност. Подът на работилницата е по-дебел от 1000 mm, оборудван с независими устойчиви на удари канали и безшумни надземни кранове за изолиране на външни вибрации и предотвратяване на вълнообразни грешки на повърхността, генерирани по време на шлайфане. Голямо CNC оборудване и големи NT шлифовъчни машини се прилагат за обработка. Референтната повърхност с пълна площ достига нанометрова плоскост, а позиционната точност на монтажните отвори и жлебове се контролира на ниво 1 μm. Вместо да проверяваме само няколко диагонални точки, ние приемаме инспекция с непрекъснато сканиране на пълна мрежа. Лазерни интерферометри, немски индикатори Mahr 0,5 μm и швейцарски електронни нивелири WYLER улавят пълни данни за топографията, за да оценят грешката на равнинността на дълги разстояния и вълнообразността на повърхността с къси вълни. Цялата метрологична верига може да бъде проследена до националния метрологичен институт и за всяка работна маса се предоставят пълни сертификати за калибриране.
Предлага се персонализирана структурна обработка. Контрамивки, жлебове за магнитни релси и отвори за щифтове за локализиране могат да бъдат обработени според разположението на въздушните лагери за вграден монтаж на решетъчни везни, магнитни релси и основи за закрепване, осигурявайки унифицирани референции за сглобяване. Персонализирана обработка на дупки с лека топология може да бъде обработена, без да се повреди референтната плоскост или структурна твърдост, за да се намали собственото тегло и да се подобри динамичната реакция. За чисти стаи в индустриите за полупроводникови и оптични инспекции плотът може да бъде обработен със запечатване, пасивиране и огледално полиране, за да се запечатат микропорите на камъка, да се намали утаяването на частици и да се предотврати надраскване на въздушните лагери от твърди частици и възпрепятстване на образуването на въздушен филм.
Преди доставката се извършват тестове за модална вибрация и термична деформация, за да се симулира дълго възвратно-постъпателно движение на плъзгачи с въздушни лагери и да се провери стабилността на повърхността при непрекъснато възбуждане. За разлика от обикновените гранитни работни маси, този продукт се фокусира не само върху статичната геометрична прецизност, но върху динамичното поддържане на равномерен въздушен филм и елиминиране на колебанията във височината и трептенето на позицията, докато слайдовете се движат с висока скорост.
Таванът на производителността на платформите за движение с въздушни лагери на нанометрово ниво се определя от референтната повърхност на гранит. Незначителни повърхностни вълни или по-късна деформация на напрежението трудно могат да бъдат открити при статичен преглед, но те ще се усилват непрекъснато по време на движение на плъзгача и директно ще намалят повторяемостта на позиционирането. Със стабилна основа, облекчаване на напрежението от необработен камък и топографска инспекция на цялата площ, прецизната работна маса от гранит UNPARALLELED за въздушни лагери осигурява стабилна и еднаква референтна основа за модулите с въздушни лагери, като гарантира, че системите за движение на въздушни лагери без триене поддържат надеждно позициониране по време на продължителна работа без прекъсване.