Работните места за проверка на полупроводници са изключително чувствителни към магнитни смущения и средна корозия. Малки магнитни смущения или остатъци от ръжда могат да предизвикат отклонения в позиционирането на пластините и замърсяване на оптичните лещи, което директно намалява добивите при проверка на чипа. Традиционните метални основи имат присъщи недостатъци за такива приложения. За разлика от това, гранитните структурни компоненти използват присъщите физични и химични свойства да не са -магнитни и-свободни от ръжда, за да отговорят на строгите работни изисквания на полупроводникови чисти стаи, което ги прави предпочитан еталонен носител за инспекция на пластини, визуален скрининг и прецизно метрологично оборудване.
Станциите за проверка на полупроводници са широко оборудвани с линейни двигатели, решетъчни сензори и електромагнитни задвижващи модули. Метални основи като стомана и чугун са магнитопроводими. Докато двигателите работят, възникват магнитен хистерезис и разсеяни магнитни полета. Слабите магнитни полета могат да нарушат показанията на решетката и дори да попречат на микросхемите и микро-компонентите на пластините, което води до отклонение в позиционирането. Гранитът е естествен минерален агрегат без метални проводими или магнитни фази, напълно не-магнитен. Той няма да индуцира допълнителни магнитни полета, когато двигателите работят непрекъснато, като основно елиминира грешките при измерване, причинени от магнитни смущения, и осигурява постоянно позициониране на микрон-ниво.
Охлаждащи емулсии, почистващи разтворители и влажен въздух обикновено съществуват в чистите помещения. Металните компоненти ще претърпят електрохимична корозия след продължително излагане на тези среди и ще образуват прах от ръжда. Веднъж пренесени във въздуха, частиците ръжда лесно полепват по повърхностите на пластините, оптичните лещи и сензорите за откриване, замърсявайки пластините и генерирайки големи количества дефектни продукти. Гранитът няма химически условия за окисляване и ръждясване. Дори при продължително-излагане на пръскаща охлаждаща течност или постоянна висока влажност в чисти помещения, не генерира петна от ръжда или метален прах. Той отговаря на-изискванията за контрол на частици в чисти работилници и намалява рисковете за качеството, предизвикани от замърсяване.
Освен не{0}}магнитни и-неръждаеми предимства, оборудването за проверка на полупроводници налага строги изисквания за термична стабилност и потискане на вибрациите на основите. Проверката на чипа често изисква продължително непрекъснато измерване, докато в сервизите се наблюдават леки температурни колебания. Ултра-ниският коефициент на топлинно разширение на Granite потиска еталонната деформация, причинена от температурни промени. Междувременно отличното му присъщо затихване абсорбира вибрациите, генерирани по време на високо-скоростно движение на линейния двигател, предотвратявайки предаването на вибрации към сондите за откриване и стабилизирайки оптичното изображение и измерването на размерите.
Полупроводниковото оборудване се предлага в различни конфигурации. Гранитните компоненти могат да бъдат-произведени по поръчка според чертежите на оборудването. Налични са вградени T-слотове, въздушно-носещи интерфейси и референтни равнини за монтиране на сензори, за да задоволят структурните изисквания на платформи за портална инспекция, XY етапи на движение и бази за носители на пластини. След машинна обработка гранитните части преминават през дълго-трайно-стареене за освобождаване от напрежение, запечатване на микро-пори и прецизна метрологична проверка. Геометричните толеранси се проверяват в изолирани от постоянна-температура, вибрации-метрологични стаи, за да се гарантира точност на еталонните показатели при доставка и да се устои на деформация по време на дългосрочна-експлоатация.
Много производители на полупроводниково оборудване се тревожат за натоварването на поддръжката в чистите помещения. Металните основи изискват редовно отстраняване на ръждата и подновяване на покритието и такава поддръжка лесно генерира прах, който компрометира класификацията на чистите помещения. Гранитните компоненти не се нуждаят от периодично анти{2}}третиране с корозия. Ежедневната грижа включва само избърсване на повърхности и премахване на незначителен натрупан прах с-безпрашна кърпа и специални почистващи препарати. Опростеният работен процес за поддръжка запазва условията на чиста стая и намалява разходите за престой.
Магнитната интерференция, замърсяването с частици и деформацията на еталонната стойност са ключови рискове за контрол в приложенията за прецизна метрология на полупроводниците, включително визуална проверка на AOI на вафли, интерферометрия и инспекция след{0}}свързване. НЕСПАРАМИЛНИТЕ структурни компоненти от гранит съчетават не-магнитни,-свободни от-ръжда, ниски-деформации и-затихване на вибрации, за да отговарят на специалните работни условия на полупроводникови чисти помещения. Те осигуряват стабилна, чиста и не-магнитна поддръжка за бенчмарк за разнообразно оборудване за проверка на полупроводници и спомагат за постигането на стабилни и ефективни работни процеси за проверка на чипове.