Компоненти на гранитни въздушни-лагери: Основни предимства на приложението за ултра{1}}високо-скоростни етапи на движение

Всички-носещи-специални гранитни компоненти на UNPARALLELED използват самостоятелно-разработен UNPARALLELED® черен гранит с висока-плътност с плътност на суровината от 3100 kg/m³. Отличаващ се с плътна и равномерна кристална структура, той предоставя много по-добри всеобхватни физически свойства в сравнение с обикновените основи от мрамор, чугун и алуминиеви сплави, като перфектно се адаптира към високо-скоростни работни условия от 2m/s и високо ускорение на 3G.
Ултра-ниското топлинно разширение елиминира отместването на датчиците, причинено от високо{1}}скоростното генериране на топлина
Коефициентът на термично разширение на гранита е само една-трета от този на стоманата. Местното повишаване на температурата, генерирано от високо-скоростно възвратно-постъпателно движение на стъпалата и непрекъснато излъчване на топлина от линейни двигатели, няма да деформират въздушните-носещи направляващи повърхности и-носещите товар базови повърхности. По време на високо{6}}скоростно сканиране и 24-часова непрекъсната работа на производствената линия, равнинността и успоредността остават без термичен дрейф, осигурявайки стабилен резултат от нанометрово ниво на повтаряща се точност на позициониране.
Естественото високо затихване потиска високо-скоростния резонанс и вибрации
Плътната кристална структура се предлага с отличен капацитет за потискане на вибрациите, способен да абсорбира над 90% от високо-честотната вибрационна енергия. Само-вибрацията, генерирана от често стартиране-спиране и високо-скоростно възвратно-постъпателно движение на въздушни-лагерни стъпала, както и външни вибрационни смущения от сервизни вакуумни помпи, манипулатори и заобикалящо лазерно оборудване, могат бързо да бъдат отслабени от гранитни основи, като се избягва отместването на оптичния път и нестабилните данни от проверката по време на високо-скоростно движение.
Не-магнитни, чисти и{1}}устойчиви на корозия, подходящи за чисти помещения за полупроводници
Този естествен не{0}}метален материал е напълно не-магнитен и няма да абсорбира метален прах и остатъци от рязане. Устойчив е на корозия от киселини, алкали, фоторезистни разтворители и електролити. Повърхността е обработена със специално полиране без прах, без утаяване на метални йони и следи от летливи вещества, в съответствие със стандартите за чистота на полупроводниците SEMI. Той елиминира рисковете от замърсяване на пластини и оптични лещи, като се вписва в производствени сценарии с висока-чистота, като проверка на чипове и вакуумно покритие.
Ултра{0}}високата твърдост осигурява дълготрайна-устойчивост на износване, без влошаване на точността след продължителна-високо-скоростна работа
С твърдост по Моос от 6–7, той е устойчив на абразия и удар. Базовите повърхности на водачите с въздушни-лагери не поддържат износване след дългосрочно-високо-скоростно плаващо плъзгане, елиминирайки необходимостта от често повторно-шлайфане и калибриране, с експлоатационен живот над 30 години. Той драстично намалява по-късните разходи за поддръжка и смяна на измервателни инструменти за производителите на оборудване от висок клас. Всички гранитни суровини се доставят до нашия ексклузивен склад от 20 000㎡ за продължително естествено стареене, за да се освободи напълно вътрешното остатъчно напрежение на камъка, като се избягва бавната деформация на компонентите и небалансираните въздушни-лагерни междини при дългосрочни-високо{15}}скоростни натоварвания.
II. Интегрирани въздушни-носещи структурни процеси, адаптирани към ултра{2}}високо-скоростни изисквания за динамично движение
Обикновените разцепени метални въздушно-носещи основи страдат от слаба твърдост, изтичане на въздух при снаждане и лесна деформация при високо{1}}скоростни динамични натоварвания. Персонализирани интегрирани гранитни въздушни-лагерни компоненти от UNPARALLELED за ултра-високо-скоростни етапи интегрират вградени отвори, затворени въздушни-лагерни водачи, Т-образни монтажни слотове и опорни точки за позициониране на тежък-товар. Множество оптимизирани структурни процеси се грижат за високо{10}}работни условия.
Интегрално монолитно формоване, висока твърдост за устойчивост на удар с висока-скорост
Използвайки свръх-големия капацитет за обработка на компоненти на фабриката, ние произвеждаме интегрирани гранитни въздушно-носещи основи с тегло на отделни-части до 100 тона и обща дължина от 20 метра. Без сегментно снаждане, цялостната твърдост е значително подобрена. Когато е подложена на високо ускорение на 3G без-натоварване и ударни натоварвания от аварийно високоскоростно спиране, основата няма да се огъне и деформира. Междината на въздушния{11}}лагер непрекъснато поддържа стабилен въздушен филм от 5~10 μm, елиминирайки заекването и изместването на траекторията по време на високо{14}}скоростно движение.
Процес на прецизно шлайфане за вградени{0}}отвори на дросел
Отворите на дросел-лагерите за въздух са прецизно обработени директно в гранитното направляващо тяло. Позицията на отвора, отворът и дълбочината на дросела се контролират чрез смилане на нанометрово-ниво, за да се осигури равномерен и стабилен въздушен поток. В сравнение със структурите с външни дроселери, въздушният поток не изтича по време на високо-скоростно движение, плаващата сила е равномерно разпределена, движението работи плавно без приплъзване, флуктуацията на скоростта е по-добра от 0,01%, постигайки разделителна способност на движение от 1 nm и повтаряща се точност на позициониране от 50 nm.
Въздушно-оформление на лагерите за тежко-натоварване за равномерно разпределяне на високо-скоростни динамични натоварвания
Симулацията на напрежения с краен елемент се провежда в съответствие с хода на етапа, максималната работна скорост и ускорението, за да се оптимизира разположението на опорните точки на долния въздух-. Динамичните натоварвания, генерирани от високо-скоростно възвратно-постъпателно движение, се разпределят равномерно по цялата гранитна основа, предотвратявайки концентрацията на локално напрежение, което би довело до срутени водещи повърхности и повреда на въздушен-лагер. Персонализиращите се T-слотове и резбовани монтажни отвори са запазени, за да отговарят на изискванията за сглобяване на линейни двигатели, линейни енкодери, модули за вакуумна адсорбция и механизми за фина-настройка на шест-оси.
III. Пълно-верижно прецизно производство и инспекция за гарантиране на точността на доставката на високо-скоростните етапи
UNPARALLELED се придържа към основната философия: „Прецизното производство не може да бъде постигнато без прецизно измерване“. Подкрепени от цялостна ултра{1}}прецизна система за обработка, постоянна-температурна среда без-прах и-система за метрологична инспекция от световна-класа, ние гарантираме, че всеки комплект гранитни въздушно-лагерни компоненти отговаря на глобалните стандарти за приемане на оборудването за високо-скоростна прецизност.
Групата управлява две стандартизирани производствени фабрики, покриващи обща площ от 200 000 ㎡, оборудвани с 10 000 ㎡ полупроводникови-клас постоянна-температура, постоянна-влажност-без прах-цех за прецизна обработка. Подът на цеха е изцяло излят с военен-клас ултра{10}}твърд бетон с дебелина не по-малка от 1000 mm. Каналите за изолация на вибрации (широки 500 мм и дълбочина 2000 мм) заобикалят работилницата, съчетани с безшумни мостови кранови системи за пълно изолиране на смущенията от вибрации и колебанията на температурата/влажността по време на обработката, гарантирайки постоянна и стабилна прецизност на шлайфане за опорни повърхности, носещи въздух-.
Компанията е оборудвана с четири изключително-големи шлифовъчни машини с ЦПУ, доставени от Тайван Нантонг, всяка от които на стойност над 500 000 USD, за завършване на грубо формоване на-носещи въздух компоненти. Ветерани майстори на шлифоване с над 30 години опит в индустрията ръчно завършват въздушно-водачи и-носещи натоварване базови повърхности, разчитайки на микронно-ниво деликатно тактилно възприятие за постигане на нанометрова плоскостна прецизна обработка. Тези майстори са наречени "ходещи електронни нивелири" от клиенти на полупроводниково и оптично оборудване по целия свят.
Пълно{0}}прецизната инспекция на размерите преди доставката използва водещи световно-международни метрологични инструменти, включително немски индикатори Mahr 0,5 μm, тестери за грапавост Mitutoyo, швейцарски електронни нивелири WYLER и британски лазерни интерферометри Renishaw. Пълните проверки обхващат плоскост, перпендикулярност, паралелност, точност на позициониране на отворите на дросела и еднаквост на въздушните-междуни на лагерите. Всички измервателни уреди притежават официални сертификати за калибриране, издадени от Института по метрология на Джинан и Института по метрология на Шандонг, като всички измерени стойности са напълно проследими до Китайския национален институт по метрология. Данните за машинна обработка на продуктите са съвместими с глобалните основни метрологични спецификации, включително DIN, ASME, JIS, GB, BS, GOST и EIE. Отвъдморските производители на оборудване не изискват вторично калибриране, като се адаптират към пълни сценарии за научноизследователска и развойна дейност, масово производство и инспекция на високо-оборудване за движение по целия свят.
Двойни предимства на триенето-Свободен въздушен лагер + Висока{2}}стабилност Гранит: Без залепване-Плъзгане или изоставане при високо-скоростно движение
Сгъстеният въздух образува въздушен филм с микрон-ниво, за да реализира без-контактна плаваща опора с коефициент на триене до 0,0005, като напълно елиминира ефекта на прилепване-приплъзване на механичните водачи. Траекториите на възвратно-постъпателно движение при висока скорост и високо ускорение се характеризират с висока повторяемост, с динамична грешка при позициониране, контролирана в рамките на суб-микронен диапазон, подходящи за високо-скоростно сканиране на пластини, лазерно директно писане и високо-прецизни интерферометрични сценарии за измерване.
Висока изолация на вибрации + ултра{1}}ниска термична деформация: Нулево отклонение на данните от проверката при непрекъсната работа с висока-скорост
Гранитните субстрати осигуряват двойна производителност на гасене на вибрации и температурна стабилност. Етапите могат да работят без прекъсване с висока скорост в продължение на 24 часа. При продължително непрекъснато сканиране и работни условия на инспекция на партиди, данните остават без изместване-, без изкривяване на изображението-и данни от инспекция-без скок, което драстично подобрява степента на използване на непрекъснатата производствена линия и добива на продукта.
Чист, не{0}}магнитен и -устойчив на корозия, адаптиран към сурови среди на полупроводникови чисти стаи
За разлика от металните основи, склонни към намагнитване и утаяване на метални йони, гранитните въздух{0}}носещи компоненти отговарят на стандартите за контрол на чистотата на полупроводниците. Те отговарят на сложни условия на работилница с-околна среда без прах и летливи химически разтворители като фотолитография, опаковане на вафли, прецизна проверка на батерии и перовскитно вакуумно покритие, без риск от замърсяване на вафли и оптични компоненти.
Дълъг експлоатационен живот и ниска поддръжка, намаляване на разходите за пълния-жизнен цикъл на-оборудване от висок клас
Лагерната -невъздушна-структура в съчетание с устойчиви на износване-гранитни базови повърхности осигурява почти нулева загуба на абразия, елиминирайки честото разглобяване, повторно-шлайфане и калибриране. Субстратът е устойчив-на ръжда и без деформации при пълзене, като поддържа стабилна прецизност след дългосрочна-експлоатация. Това значително намалява времето за престой на оборудването за поддръжка и подмяна на резервни части, намалявайки цялостните оперативни разходи за производителите на оборудване и заводите за крайни-потребители.
V. Широки сценарии за приложение в-висококласно оборудване и разпознаване на световния пазар
Възползвайки се от множество основни силни страни, включително първокласни свойства на материала, интегрирана въздушна{0}}носеща структура, нанометрова машинна прецизност,-безпрахова вибрационна изолация и глобална метрологична съвместимост, НЕСПРАВИМИТЕ гранитни въздушно-лагерни компоненти се превърнаха в стандартни еталонни части за свръх-високо-скоростни етапи на движение в световен мащаб, широко прилагани във всички категории на високо{5}}прецизно оборудване:
Оборудване за проверка на полупроводници: високо{0}}скоростни етапи за сканиране на дефекти на пластини, AOI оптични платформи за проверка, високоскоростни платформи с линеен двигател XY-за X-откриване на дефекти в опаковката;
Оптично и лазерно обработващо оборудване: лазерни машини за директно писане, оптични интерферометри, високо-степени за позициониране за високо-прецизна инспекция на лещи;
Ново енергийно прецизно инспекционно оборудване: високо{0}}скоростни инспекционни платформи за сепаратор на литиеви батерии, вакуумни високо{1}}скоростни модули за движение за перовскитно тънкослойно покритие;
Метрологични лаборатории и аерокосмически прецизни измервания: нанометрови платформи за калибриране на позициониране за национални метрологични институти, високо{0}}скоростно прецизно измервателно оборудване за малки аерокосмически компоненти.
Понастоящем НЕСПАРАЛЕМНИ гранитни въздушно-носещи компоненти се изнасят за пазарите на прецизно оборудване по целия свят, дълбоко подкрепяйки предприятия от Fortune 500 и водещи глобални производители на прецизно управление на движението, включително GE, Apple, Samsung, Bosch, THK, HIWIN, MISUMI и Akribis. Ние поддържаме дългосрочно-техническо сътрудничество по високо-технология за високоскоростни прецизни бенчмаркове с водещи изследователски институти и правителствени метрологични органи: Национален университет на Сингапур, Технологичен университет Нанянг, Стокхолмски университет, метрологични институти в Европа, Америка и Русия, както и Zhejiang University, Xi'an Jiaotong University, Китайската академия на науките и Чанчунския институт по оптика, фина механика и физика вътрешно. Динамичната-скоростна стабилност, адаптивността-без прах и глобалната метрологична съвместимост на нашите гранитни въздушно-носещи компоненти получиха авторитетно признание от световната индустрия за прецизно оборудване.
Заключение за индустрията
Индустриите за полупроводници, оптично микропроизводство и инспекция на нова енергия продължават да вървят към по-висока скорост на работа, по-високо ускорение и динамична точност на позициониране на нанометрово-ниво. Ефективността на еталонните носачи за свръх-високо-скоростни етапи на движение директно определя динамичната прецизност на оборудването, производителността на производствената линия и дългосрочната-надеждност. UNPARALLELED Group последователно ще поддържа основните корпоративни ценности на „Отвореност, иновации, почтеност, единство“ и ще практикува предприемаческия дух на „Осмелете се да поемете лидерството; Осмелете се да правите иновации“. Непрекъснато ще повтаряме процесите на модификация за гранит с висока-плътност, интегриран структурен дизайн на вградени дросели-на носещи въздух,-безпрахосъобразна повърхностна обработка, предназначена за полупроводници, нанометрово-шлайфане на три{11}}компоненти с-въздушни{12}}лагери и пълни-схеми за проверка на процеса, и продължавайте да надграждате гранитни въздушно{14}}носещи компоненти, адаптирани към ново-поколение високо-инспекция на пластини, лазерна обработка и ново енергийно оборудване за покритие. В бъдеще групата ще задълбочи допълнително оформлението си в поддържащата писта за свръх-прецизни сравнителни показатели за движение. Ние предоставяме цялостни решения за осигуряване на прецизност за високо-скоростни етапи на движение на глобални производители на високо-прецизно оборудване чрез стандартизирани, ултра-чисти, високи вибрации-затихване, динамично стабилни при висока скорост и глобално универсални гранитни въздушно-носещи еталонни компоненти, помагайки на глобалната прецизна производствена индустрия да преодолее тесните места на високо-скоростна динамична прецизност и стабилно напредване към нашата дългосрочна-визия за развитие „да се превърнем в-предприятие от световна класа, ползващо се с доверие и обичано от обществеността“.