Тъй като микроелектрониката се свива и размерите на пластините нарастват, изискванията към системите за линейно движение достигнаха екстремни нива. Традиционните механични рециркулиращи сачмени-водачи са достигнали своите физически граници. Триенето, хлабината, механичното износване и микро-вибрациите ограничават способността им да намаляват. Въведетегранитна въздушна носеща система-технология за движение без триене, която съчетава естествената геоложка плоскост на черния гранит с въздушни филми под налягане, за да постигне почти-перфектно линейно движение.
Как работят гранитните въздушни лагери
Въздушният лагер използва тънък слой от чист, сух въздух под високо налягане (обикновено с дебелина от 5 до 10 микрона), за да поддържа движеща се каретка над референтна водеща писта. Тъй като каретата буквално се носи във въздуха, няма физически контакт между движещите се части.
Въздушният лагер обаче е толкова прецизен, колкото и повърхността, върху която се носи. Ако водещата релса е неравна, дебелината на въздушната междина ще варира, причинявайки внезапни промени във въздушното налягане, което води до накланяне или вибрации на каретката. Ето защо черният гранит UNPARALLELED® е перфектният партньор за въздушни лагери: той може да бъде обработван и ръчно-залепен до суб-микронна плоскост, осигурявайки невероятно еднаква, гладка и стабилна на размери повърхност, върху която въздушният филм да се плъзга.
Основни предимства на гранитните въздушни лагери
Нулево износване, безкраен живот: Тъй като няма механичен контакт, няма физическо износване. Прецизността на системата остава идентична на ден 1000, както беше на ден 1. Това драстично намалява времето за престой при поддръжка в 24/7 чисти стаи.
Гладкост на скоростта: Механичните лагери страдат от "назъбване" и промени в съпротивлението при търкаляне. Въздушните лагери предлагат напълно плавно движение без триене, което позволява изключително стабилен суб{1}}нанометров контрол на скоростта.
Изключителна точност на позициониране: Комбинирани с линейни двигатели и оптични енкодери с висока -резолюция, стъпалата с въздушни лагери могат да постигнат суб{1}}нанометрова повторяемост на позициониране, което е от съществено значение за EUV (екстремна ултравиолетова) литография и усъвършенствана оптична проверка.
Не е необходимо смазване: Традиционните лагери изискват грес или масло, които могат да отделят газове и да замърсят вакуумните камери или оптичните лещи. Въздушните лагери работят с чист въздух, което ги прави идеално{1}}съвместими с чисти помещения.
Приложение в центъра на вниманието: Инспекция на полупроводникови пластини
При проверка на полупроводникови пластини (AOI/X-RAY) камерите трябва да сканират пластини, движещи се с високи скорости, като същевременно поддържат перфектна фокусна дълбочина. Дори малка вертикална вибрация може да размаже изображението. Каретка с въздушни лагери, движеща се върху ултра-плоска гранитна водеща релса, гарантира, че вертикалното отклонение (наклон, накланяне и отклонение) остава практически не-съществуващо, позволявайки висока-производителност,-контрол на качеството без грешки.
Ръководство за запитване: Персонализираните въздушни{0}}лагерни портали изискват силно координирани механични допуски. Когато поискат оферта, инженерите трябва да уточнят теглото на полезния товар, целевото ускорение и параметрите на околната среда (вакуум срещу атмосфера), за да гарантират, че гранитната структура и въздушните дюзи са проектирани като единна, хармонична единица.