В безмилостното преследване на 2nm процесния възел и отвъд него, полупроводниковата индустрия често се фокусира върху вакуумни системи, EUV източници на светлина и сложни сензори. Въпреки това, най-критичният „тих партньор“ в това уравнение е механичната основа. Тъй като оборудването за проверка на пластини изисква под-нанометрова разделителна способност, структурната цялост, осигурена от гранитна метрологична основа илиоснова от епоксиден гранитсе превърна в решаващ фактор за постигане на повтаряща се прецизност.
Предизвикателството на съвременната инспекция на вафли
За метрологията на полупроводниците основните врагове са вибрациите и термичната нестабилност. Тъй като скенерите и инструментите за проверка се движат с по-високи скорости, за да увеличат производителността, те генерират инерционни сили, които могат да компрометират точността на измерването. Стандартната стоманена или-чугунена рамка, макар и здрава, не разполага с вътрешното затихване, необходимо за разсейване на тези микро-вибрации достатъчно бързо за изискванията за сканиране от следващо-поколение.
Това е мястото, където науката за материалите зад решенията на UNPARALLELED става жизненоважна. Като предоставяме масивна, ултра{1}}стабилна платформа, ние гарантираме, че въздушният лагер може да работи с максимална производителност без външни или вътрешни смущения.
Естествен гранит срещу епоксиден гранит: Избор на правилната основа
В UNPARALLELED Group ние предлагаме както естествени, така и синтетични решения, тъй като всяко от тях играе отделна роля в екосистемата с висока{0}}прецизност.
1. Трайното съвършенство на естествения гранит. В продължение на много години гранитната метрологична база е златен стандарт. Основното му предимство се състои в неговата изключителна стабилност на размерите и нисък коефициент на топлинно разширение. Тъй като естественият гранит е стареел милиони години, той е свободен от вътрешни напрежения. За статична метрология или инструменти, изискващи най-висока степен на плоскост на повърхността (често степен 000), естественият гранит остава непобедим.
2. Инженерната гъвкавост на епоксидния гранит Тъй като дизайнът на оборудването за проверка на пластини става по-сложен, епоксидните гранитни основи (минерални отливки) придобиват значителна сила. Този материал се състои от избрани каменни агрегати, свързани с-високоефективни смоли.
Изключително затихване: Епоксидният гранит има-степен на затихване на вибрациите почти десет пъти по-добър от чугуна и значително по-висок от естествения камък. Това позволява по-бързо „време за утаяване“ за високо{2}}високоскоростен въздушен лагер.
Интегриране: Можем да излеем сложни елементи директно в основата-като тръби за охлаждаща течност, вложки с резба и кабелни тръбопроводи-намалявайки „Общата цена на притежание“ за OEM производителите.
Оптимизиране на интерфейса на въздушния лагер
Етапът с въздушен лагер е толкова добър, колкото и повърхността, върху която се носи. В полупроводникови приложения въздушната междина често е по-малка от 10 микрометра. Всяко отклонение в плоскостта на основата води до директна грешка във фокалната равнина на пластината.
UNPARALLELED използва усъвършенствани техники за ръчно{0}}прилепване, комбинирани с лазерна интерферометрия, за да гарантира, че нашите основи осигуряват почти-перфектна равнина. Чрез интегрирането на основата и водача за движение в единна, сплотена единица, ние минимизираме купчината-от механични допуски. Този холистичен подход е причината водещите производители на полупроводниково оборудване да се отдалечават от много-сглобките към интегрирани минерални отливки или монолитни гранитни структури.
НЕСРАВНИМОТО предимство в глобалната метрология
Глобалната верига за доставка на полупроводници изисква повече от просто доставчик на компоненти; изисква партньор, който разбира нюансите на съвместимостта с чисти помещения, стандартите за обезгазяване и дългосрочната-геометрична надеждност. Експертният опит на UNPARALLELED Group както в естествения камък, така и в минералното леене ни позволява да предложим безпристрастни технически консултации на нашите клиенти.
От първоначалния анализ на крайните елементи (FEA) до крайното прецизно прилепване, нашият процес е проектиран да гарантира, че вашият инструмент за метрология на полупроводници осигурява възможно най-висок добив. В индустрия, където всеки нанометър е от значение, ние осигуряваме стабилността, върху която можете да надграждате.
Заключение: Проектиране на бъдещето на стабилността
Еволюцията на оборудването за проверка на пластини ще продължи да разширява границите на физиката. Независимо дали вашето приложение изисква класическата стабилност на гранитна метрологична основа или силното-затихване, сложни геометрии наоснова от епоксиден гранит, UNPARALLELED Group стои в челните редици на тази основополагаща технология. Каним инженери и системни интегратори да проучат как нашите материали могат да намалят бюджета за грешки на техните системи от следващо-поколение.